진공 기술 성능 요구
터보 분자 펌프는 과학 및 반도체 응용 분야에 사용되는 진공 챔버 내에서 매우 높은 회전 속도로 작동합니다.실리콘 나이트라이드 볼 블랭크는 진공 및 고속 조건에서 구조 무결성을 유지하는 세라믹 롤링 요소를 가능하게 합니다.
저압 환경에서의 안정성
질화규소는 진공 시스템에서 가스를 능가하거나 부식되지 않아 챔버 순도를 보존합니다.
고속 기계적 강도
저밀도는 초고 RPM 수준에서 원심 응력을 감소시킵니다.
열 충격 Resistance
펌프 시동 및 종료 주기는 급격한 열 변화를 일으킵니다.균일 한 빈 미세 구조는 균열 저항성을 향상시킵니다.
결론
실리콘 나이트라이드 볼 블랭크는 속도, 순도 및 내구성이 중요한 고진공 터보 분자 펌프 베어링에 필수적입니다.
