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반도체 진공 펌프 (Semiconductor Vacuum Pump)
집적회로, 평판 디스플레이 및 광전자 소자를 제조하는 과정에서 반도체 소자는 고온에서 가공하고 여러 번의 필름 퇴적을 거쳐야 하기 때문에, 해당 실험실 조건을 유지하기 위해서는 진공 펌프가 필요합니다.진공 펌프에서 고성능 고온 isostatically 압착된 실리콘 나이라이드 세라믹 볼과 특수 처리된 더 높은 정밀 레이스웨이를 사용하면 베어링이 고온, 고속, 저진동, 고오염, 불충분한 윤활, 높은 신뢰성 및 긴 수명 측면에서 놀라운 성능을 가질 수 있습니다.실리콘 질화 진공 펌프 베어링은 DmN < 500,000일 때 30,000시간 이상 지속적으로 작동 할 수 있습니다.
