자동화는 현대 팹에 요구됩니다
웨이퍼 이송 로봇은 클러스터 도구에서 프로세스 챔버를 연결합니다.이러한 로봇 시스템은 깨끗하고 지속적으로 작동해야 합니다.질화 실리콘 베어링 볼을 하이브리드 베어링에 통합하면 정밀도와 오염 제어력이 향상됩니다.
청정 실 호환성
금속 입자 오염은 수율을 저하시킬 수 있습니다.세라믹 롤링 요소:
1, 마모를 저항하십시오
2, 더 적은 입자를 생성합니다
3, 시간이 지남에 따라 매끄러운 표면을 유지합니다
이것은 엄격한 클린룸 요구사항을 지원합니다.
더 빠른 사이클 타임을 위한 경량 다이내믹스
감소된 롤링 엘리먼트 질량이 향상됩니다:
1, 서보 응답
2, 가속
3, 위치 반복성
이를 통해 자동화된 팹에서 웨이퍼 처리량이 증가합니다.
Corrosion 및 피로 저항성
로봇 시스템은 사소한 화학 물질에 노출될 수 있습니다.Silicon nitride의 화학적 안정성은 장기간 베어링 무결성을 보존합니다.
장기적인 신뢰성
지속적인 24/7 작동은 연장된 서비스 수명을 요구합니다.하이브리드 세라믹 베어링은 전강 디자인에 비해 향상된 피로 저항성을 제공합니다.
