알루미나 세라믹 진공 핸들링 로봇 팔의 특성 및 관련 기술적 특징은 다음과 같습니다:
Ⅰ다.핵심 기능
1. 높은 순수함과 절연:알 루 미나 세라믹 로봇 팔의 순수성을 가지고 99.5%과 뛰어 난 절연 특성를 갖고 있 (비 저항 > 10 ¹ ⁴ Ω · cm), 정전 간섭 효과적으로 예방 및에 적합하게 만들 처리 반도체 웨이퍼 같은 민감 한 전자 부품이다.
2. 고온 및 부식 방지:재료는 최대 1600℃의 고온에서 안정적으로 작동할 수 있으며 강한 화학적 부식 저항성을 가지고 있어 진공, 고온 및 부식성 가스 환경에 적합합니다.
3. 정밀 가공 기술: CNC 수치 제어 가공 기술을 활용하여 마이크로론 수준의 정밀도 (예:0.1 마이크론 표면 조도)를 달성하여 웨이퍼 핸들링에 대한 제로 포공 및 제로 크랙의 엄격한 요구 사항을 충족합니다.
4. 비오염 설계:비금속 특성은 금속 이온의 방출을 방지하며, 선택적 테플론 정전기 방지 코팅과 결합하여 정전기 방전 및 입자 오염의 위험을 더욱 줄입니다.
Ⅱ다.기술적 이점
1. 물자 성과:Mohs 경도는 9에 도달하고, 마모 저항은 금속보다 우수합니다;그것은 낮은 열 팽창 계수 (9 × 10 ⁻ ⁶/℃)과 강 한 열 충격 저항이다.
2. 구조 설계:중공 구조는 결합 기술, 경량 설계 및 기계적 강도의 균형을 통해 달성됩니다.
3. 사용자 정의 기능:제공된 도면 및 샘플을 기반으로 다양한 크기와 기능 요구 사항에 맞춰 처리를 지원합니다.
Ⅲ다.응용 프로그램 시나리오
1. 반도체 제조:웨이퍼 핸들링에 사용되는 진공 세라믹 암은 청결성, 진공 레벨 및 치수 안정성에 대한 요구 사항을 충족해야 합니다.
2. 전자 부품 취급:정전기 방전 손상을 방지하면서 고온, 부식성 환경에서 민감한 부품을 정밀하게 배치합니다.
3. 산업 자동화:알루미나 세라믹 포크 암 및 엔드 이펙터 등 정밀 핸들링 요구에 맞춘 맞춤형 로봇 암.
Supports custom specifications.
제안이나 문의 사항이 있으시면 언제든지 문의 주시기 바랍니다.
