태양광 발전 장비용 EF 세라믹 척에서 알루미나 세라믹스의 적용은 주로 다음과 같은 측면에서 반영됩니다:
I. 재료 특성 장점
1. 높은 열전도도:알루미나 세라믹은 170-230 W/(m·K)의 열전도도를 가지고 있어 태양광 발전 장비 가공시 발생하는 열을 빠르게 분산시켜 온도 상승에 의한 재료 변형이나 성능 저하를 방지할 수 있습니다.
2. 낮은 열 팽창 계수:열 팽창 계수의 (4. 5 × 10 ⁻ ⁶/℃)은 실리콘 기반 태양전지 재의,에 가깝다고하는 균열 열 응력에 의해 발생 한의 위험을 줄이고 척과 웨이퍼 간의 호환성을 향상시 킵니다.
3. 높은 절연성 및 마모 저항:높은 비저항과 우수한 경도를 가지고 있어 장기간 마찰과 마모에 저항하면서 고전압 환경에서 정전기 흡착에 적합합니다.
Ⅱ다.태양광 발전 설비에서의 응용 시나리오
1. 다중 조각 흡입 컵 어셈블리:알루미나 세라믹 흡입 컵은 통합된 다공성 구조 설계를 통해 태양광 발전 패널의 효율적인 고정을 달성합니다.전통적인 금속 흡입 컵과 비교하여 더 균일한 흡입력을 제공하고 정전기 방지 특성을 보유하고 있습니다.
2. 박리 및 절단 공정:웨이퍼 박리 및 절단 공정에서 그 고밀도 미세 다공성 구조는 실리콘 분말 흡착을 방지하고 치핑 및 파편화 위험을 줄이며 가공 수율을 향상시킵니다.
3. 부식 저항 및 경량 설계:강한 화학적 안정성은 광전지 제조에 있는 부식성 환경에 적합하게 만듭니다;다공성 구조 설계는 전체 중량을 감소시켜 장비 통합을 용이하게 합니다.
Supports custom specifications.
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