알루미나 세라믹 연삭 디스크는 반도체, 전자, 신에너지 등 분야에 널리 사용되는 고성능 산업용 연삭 도구입니다.I. 핵심 특성
1.고순도 및 경도 (High Purity and Hardness)
• 알루미나 함량은 비커스 경도 ≥17 GPa로 사파이어의 경도에 근접하여 연마 공정 중 고효율 및 마모 저항성을 보장하며 99.7%-99.9%에 도달 할 수 있습니다.
• 초고순도 (예:99.99%) 버전은 생물 의약 및 반도체 제조와 같이 불순물에 민감한 응용 분야에 적합합니다.
2. 우수한 물성
• 밀도가 3.94-3.97 g/cm³만큼 높고, 440-550 MPa의 3점 굽힘 강도로 높은 기계적 강도와 충격 저항성을 모두 보유하고 있습니다.
• 0.0968 cm²/s의 낮은 열전도도, 2000℃를 초과하는 고온 저항성으로 고온 작동 환경에 적합합니다.
3. 화학적 안정성:
v 산 및 알칼리 부식에 저항성이 있으며, 물질과 화학적으로 반응하지 않아 지상 재료의 화학적 순도를 보장합니다.
응용 프로그램 시나리오
1. 반도체 제조:양면에 사용 되는 실리콘 웨이퍼를 갈아서, 전통적인 교체 주철 정확성을 금속 오염을 줄이고 웨이퍼 편평을 개선 할 수 있는 접시 (≤ 0. 5 μ m) 중 오류 가 발생 했다.CMP (Chemical Mechanical Polishing)의 소모품으로 칩 처리 효율을 향상시킵니다.
2. 새로운 에너지 및 전자 산업:리튬 전지 음극 재료 연삭에서 입자 크기 CV 값을 <5%까지 제어 할 수 있어 재료 일관성을 보장합니다.5G 기지국 필터 및 IGBT 모듈과 같은 전자 부품의 절연 및 방열 부품에 사용됩니다.
3. 기타 산업 분야:
• 세라믹 유약 연마 (입자 크기 분포 경간 <1.0).
• 항공 우주 응용 분야를 위한 고온 저항성 부품 (예:위성 안테나 덮개 및 우주선 방열판).
Supports custom specifications.
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