반도체 장비의 핵심 부품인 알루미나 세라믹 진공 척은 다음과 같은 기술적 특성과 응용 시나리오를 가지고 있습니다:
제품 유형 및 기술 특성 Product Types and Technical Characteristics
1.다공성 세라믹 진공 척:알루미나 또는 실리콘 카바이드와 같은 재료로 제작되어 30~50%의 공극도와 마이크론 범위의 공극 크기로 균일한 흡입력과 투과성을 확보합니다.이들은 높은 평탄도, 마모 저항성 및 화학적 안정성을 갖추고 있어 웨이퍼 표면의 긁힘 및 입자 오염을 줄입니다.
2.전형적인 응용 프로그램:웨이퍼 박리, 절단, 연삭 및 기타 공정, 2-12인치 웨이퍼 및 비표준 맞춤형 요구 사항에 적합합니다.
반도체 제조에서의 응용 시나리오
1.프런트 엔드 프로세스:
Lithography machine:모바일 플랫폼 부품으로 사용되며, 정전기 척으로 작업하여 나노미터 수준의 위치 정확도를 확보합니다.
에칭 기계:챔버, 가스 분배판 등에 사용되어 플라즈마 에칭 환경을 견딜 수 있습니다.
2.백 엔드 포장:
초박형 웨이퍼를 취급해야 하는 과제를 해결하고 기계적 클램핑으로 인한 미세 크랙 오염을 방지합니다.
Supports custom specifications.
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